MTL TYPE MIXERMTL型 混合機

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MTL type mixer
MTL型 混合機（機械式タンクレス混合機）

G型 混合機を限界まで進化させた弊社の意欲作です。従来、必要とされたバッファータンクを無くすことで、大流量 混合機（最大流量100Nm3/h以上）における設置スペースを節約します。
定量ノズルユニットと遮断弁を一体化させた新開発のノズル遮断弁ユニットを多段配置して、各ユニットごとの圧力設定値を変えることで、今まで必要とされていたバッファータンク容積の1/20以下（弊社 製混合機 比較値）のタンクミキサー（チャンバ式　撹拌器）をバッファータンクとして機能させることで、圧倒的な小型化に成功しました。なお、ノズル遮断弁は多段ユニット化による混合ガス製造時のON/OFF運転による不明ガスを無くします。混合精度はG型と同様±1.0VOL%の高精度で再現性の高い混合ガスを製造します。末端の消費流量に合わせた混合ガスの製造を行うため、消費負荷変動や周囲温度に関係なく、高精度混合ガスを安定供給します。

Flow diagram
フロー図

フロー図

混合部の圧力センサー設定値（例）

Aユニット：下限（ON時）0.40MPa ／ 上限（OFF時）0.5MPa

Bユニット：下限（ON時）0.42MPa ／ 上限（OFF時）0.5MPa

Cユニット：下限（ON時）0.44MPa ／ 上限（OFF時）0.5MPa

※本紙記載の圧力設定値は説明用の数値となっています。

混合ガス製造の流れ（圧力設定値は説明用）

※基本理論は"N/G型 混合機"の項をご参照ください。

Step.1Aユニットが混合ガス製造を始める。ノズル遮断弁で流量制御された各ガスがタンク ミキサー内部で激しい撹拌状態になり混合ガスになる。
Step.2Bユニットが混合ガス製造を始める。以下、同様。
Step.3Cユニットが混合ガス製造を始める。以下、同様。
Step.4各ユニットの上限設定値0.5MPaで混合ガスの製造が停止する。
Step.5末端で混合ガスが消費されると下限設定値に達したラインが再び混合ガスの製造を始める。0.44MPaでCユニットが製造開始。消費量が増えて0.42MPaになるとBユニットが製造開始。さらに消費量が増えて0.40MPaになるとAユニットも製造を開始し混合機としての最大製造量となる。
Step.6以下、上記の動作の繰り返し。
Step.7タンク ミキサー内部の混合ガスが圧力調整器で圧力調整され、安定供給される。

Gas Mixer Features
ガス混合機の特徴

1

高精度な混合精度

高精度　±1.0Vol%

2

簡単操作

操作が簡単です。運転スイッチを"入れる"だけです。

3

省スペース設計

バッファータンク不要なので、設置スペースをとりません。

4

負荷変動に強い

負荷変動の影響を受けません。

5

屋外設置OK

温度影響を受けません。屋外設置可。（屋外設置仕様）

6

コストパフォーマンス

低コストでユーザー仕様に対応できます。

Specification
仕様

型式 MTL-E型
（機械式タンクレス混合機）
混合方式 定量ノズルユニット方式
製造ガス種 ２成分で成分比率は固定
混合精度 ±1.0 VOL％
最大発生流量 90～180 Nm3／h
入口圧力 お打合せによる　※ただし、0.95MPa以下。
出口圧力
（供給圧力）		 お打合せによる　※最大で0.6MPa。入口圧力との差圧0.3MPa以上必要。
使用温度 0～40℃（周囲温度）
設置場所 屋内、屋外　※高圧ガス保安法の可燃性ガス雰囲気外の場所。
制御方式 制御盤によるシ－ケンス制御
電源 100V　5A
寸法 1,450W × 900D × 2,000H（バルブ含む）mm
（180Nm3/h　屋内設置タイプ）※変更の場合あり。
重量 約550Kg
（180Nm3 ／ h　屋内設置タイプ）※変更の場合あり。
特別仕様
  • 普通仕様 ／ 準禁油処理仕様（接ガス部 非鉄仕様）
  • 運転制御盤　別置き

Option
オプション

Regular inspection
定期点検

可燃性ガスを原料とした混合機の場合、機内に可燃性ガスを流入し混合ガスを製造します。さらに、製造された混合ガスをガスタンクに貯蔵する装置のため、安全性は最重要項目です。また、不活性ガスや支燃性ガス使用においてもガス漏れによる窒息事故対策などの十分な安全配慮が必要となります。
これら、安全性維持と混合ガスの高精度混合性能の維持のため、1回/1年（1日8時間稼働として。）の定期点検を推奨します。

半導体関連用混合機

半導体関連用を初めとするG型 混合機に準じます。基本的に最大流量が90Nm3/h以上の場合、機械式タンクレス混合機（MTL-E型）を推奨させていただきます。

混合機　外観

半導体関連用混合機　外観

機内の主要機器

機内の主要機器

半導体関連用　概略仕様
(H2 + N2混合機　MTL2-90E型)

最大発生流量 90Nm3 / h
混合精度 ±1.0 VOL%
仕様 禁油処理仕様（接ガス部　非鉄仕様）
本質安全防爆仕様
屋内設置型
制御盤付属（タッチパネル付き）
H2分析計付属（オプション）
電源 100V 5A
入口圧力 0.6〜0.7MPa
出口圧力 50kPa
寸法 1,450W × 650D × 2,000H mm
高さHはバルブ含む。
重量 450kg
特徴 別置きバッファータンク無しの、すっきりボディ。

※このホームページで掲載している商品の仕様は、予告なしに変更する場合があります。予め、ご了承ください。

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