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技術資料 混合ヘリウム使用時の注意事項|ヘリウムリーク検査装置|ガスミックス工業株式会社

技術資料
混合ヘリウム使用時の注意事項

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ヘリウム リ－ク検査におけるヘリウム ガスのランニング コストは、検査圧力・ワ－ク内容積・検査数量・装置台数等によって大きく変わりますが、今後、日本国内のヘリウム（He）の価格は更に上昇が予想されます。そこで、各社様の対応手段としてHe + N2混合ガス、又は、He + AIR混合ガスを使用されているのをお聞きしたり、訪問時に拝見させていただいたりする事があります。
しかしながら、ガス同士の混合は皆様方が考えるよりも、はるかに混ざりづらいもので、お客様の不安な声や、失敗談を　お聞きする事がしばしばございます。（簡単ではないので、混合ガス一筋５０年の当社が存在しているのですが・・・・・）そこで、混合ガスのパイオニアである当社から、僭越ではありますが、次の様なアドバイスをさせていただきます。

分圧方式の混合加圧は難しいという具体例

例えば、He１０％+ N2 ９０％の混合ガスで、検査圧力はゲ－ジ圧力で2MPaにする場合ですが、しばしば見かけるやり方が、ワ－クにHeを0.2MPa封入後、N2を1.8MPa封入して、2MPaのHe + N2混合ガスを製造するという方法があります。ワ－クが大きな容器の様な（ドラム缶の様な）形状でしたら、まだしも、この方法で熱交換器等の細くて長いワ－クに封入するとなったら、まず、He とN2は混ざらないと言って間違いありません。下記のデータで検証してみましょう！
このデ－タは、以前、お客様から依頼されて実施した生のデ－タです。

冷凍機用　熱交換器の、He + N2バッチ式　混合ガス濃度 確認テスト

1.テスト方法
熱交換器の片側より、He　0.3MPa封入後、更にN2　1.9MPa まで封入し、一定時間　経過後のHe濃度を測定する。
2.ガス濃度計算値
（０．３ + ０．１）／（１．９ + ０．１）×１００＝２０％　He濃度　２０％を規格とする。
3.試験フロー

※分析流量 0.5L / min 一定
4.テスト一覧表
濃度測定時間
※開始からの時間		 １時間放置したワーク 40時間放置したワーク 熱交換器 圧力 積算流量
分 He濃度（%） He濃度（%） MPa リットル
0 0 0 1.9 0
5 0 3.3 1.68 2.5
10 0 5.6 1.49 5.0
15 0 7.9 1.30 7.5
20 0.1 12.4 1.11 10.0
25 3.2 16.6 0.94 12.5
30 13.6 21.8 0.75 15.0
35 27.7 27.6 0.57 17.5
40 42.1 31.7 0.36 20.0
45 56.6 35.6 0.16 22.5
50 65.8 39.4 0 25.0

5.テスト結果
以上のバッチ式　混合ガス封入方式では、熱交換器 内部で、均一な混合ガスになっていない事が、立証されました。※この条件だと、正しいHeリ－ク検査が、難しいです！


現在、この様な方法でHeの混合を行っている　お客様には、当社のHe + N2混合機又は、He + AIR混合機をご推奨させていただきます。検査圧力が高い場合には、加圧・回収装置も合わせてプランニングさせていただきます。お気軽に、ご相談下さい。